半導体露光装置

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【半導体露光装置とは】
精密電子機器に搭載される半導体や、液晶パネル等の基板の作成に用いられる回路パターンなどをレーザー光で現像する装置。

大成工作所の実績例

半導体の露光装置の周辺機器

応用例